글로벌 파운드리 업체 대만 TSMC는 이달 아리조나주 파운드리 팹(Fab·생산 공장)의 클린룸·EUV 등 계약을 체결할 계획이라고 연합신문망이 5일 보도했다.
TSMC 아리조나주 파운드리 팹은 지난달 1일 착공했다.
현재 건설하고 있고, 계획대로 2024년 양산에 돌입할 예정이다.
이달 15일에 열릴 법인 설명회 전에 클린룸 주력 업체 한당집성(UISCO)과 설비 공급업체 MIC(Marketech International Corp.)·밀레 오토메이션(Mirle Automation), 판슈안 등과 계약을 체결할 것으로 알려졌다.
한당집성은 클린룸을, 그리고 판슈안은 EUV 장비 공급을 맡는다.
클린룸과 EUV 공정은 반도체 제조 핵심이다.
클린룸은 반도체를 제조하는 양압시설로 한당이 공급하는 장비는 미세먼지를 제어하는 반도체 품질 관리의 핵심이다.
EUV 노광 공정은 반도체 미세공정화 추세에 따라 주목받고 있다.
이중 한당집성은 미국 자회사에 4680억 달러(약 529억3548만 원)를 투자한다고 발표했다.
업계 관계자는 "한당집성은 TSMC 아리조나 파운드리 팹의 클린룸 설치 등을 위해 자회사에 투자한 것"이라고 분석했다.
한당집성 전자오쉐 회장은 "미국 자회사에 투자한 것은 회사의 미국 사업 확대를 위한 것이며, 특정 기업에 한하지 않는다"고 말했다.
앞서 지난 4월 말 전자오쉐 회장은 아리조나주 파운드리 팹의 클린룸 등 장비는 내년 9월에 설치될 것이라고 예상했다.
한당집성은 TSMC 클린룸을 수주하면 20여명의 고급 엔지니어를 미국으로 파견해 현지에서 엔지니어·공사 하청자 200여명을 채용할 예정이라고 밝혔다.
네덜란드 ASML의 극자외선 리소그래피 모듈 생산 파트너사 MIC도 엔지니어를 아리조나로 파견할 것으로 알려졌다.
TSMC는 현재 건설하고 있는 피닉스의 120억 달러(약 13조5500억원) 규모 5나노미터 칩 양산시설 외 아리조나 내에 3나노미터 칩 생산이 가능한 신규 공장 5개와 반도체 패키징 공장을 추가 건설할 계획으로 알려져 있다.
총 6곳의 생산시설을 아리조나에 구축하고 생산능력도 월 10만장 규모까지 늘린다는 것이다.
아리조나의 첫번째 공장 운영을 위해 TSMC는 파견할 인력 1000명을 대만에서 선발 중이다.
이들에겐 연봉 2배, 주택 제공 등 파격적인 혜택을 내건 것으로 알려졌다.
